移位测量装置

摘要

移位测量装置，涉及一种移位测量装置，为进一步提高信号的平均作用，需要在同样的探测单元数量的情况下，包含更多的探测周期，尽量在设计体积要求更小，或者光源的光斑所占的面积较小等制约下提高信号质量，包括标准光栅和光电读数头，光电读数头包括光源、指示光栅、光电接收单元和信号处理电路。光电接收单元由多个探测单元组成，多个探测单元组成探测单元阵列，并分成三个组，同相位的探测单元属于同一个组，同一个组的探测单元是相互连接的。光电接收单元探测至少一个周期性扫描信号。该光源发出入射光线，经由该扫描掩膜和该标准光栅调制，该光电接收单元接收经过调制的光信号。本发明所述的移位测量装置能有效提高信号的抗污染能力。

主权项

移位测量装置，该装置包括标准光栅(2)和光电读数头(1)，所述光电读数头(1)包括光源(1‑1)、光学系统(1‑2)、指示光栅(1‑3)、光电接收单元(1‑4)和信号处理电路(1‑5)；所述信号处理电路(1‑5)包括滤波和放大模块(1‑5‑5)、第一差分模块(1‑5‑1)、第二差分模块(1‑5‑2)、第一运算模块(1‑5‑3)和第二运算模块(1‑5‑4)；所述光源(1‑1)发出的光经光学系统(1‑2)变为准直光，所述准直光依次经标准光栅(2)和指示光栅(1‑3)调制，得到调制后的光强信号，光电接收单元(1‑4)将光强信号转化为电信号；其特征是，所述光电接收单元(1‑4)包括多个探测单元(1‑4‑2)，所述多个探测单元(1‑4‑2)分为三组，同相位的探测单元(1‑4‑2)为一组，每组探测单元(1‑4‑2)相互连接生成一组信号，三组探测单元(1‑4‑2)生成的三组信号由信号处理电路(1‑5)接收，并将接收的三组信号经信号处理电路(1‑5)中的滤波和放大模块(1‑5‑5)进行滤波和放大，并将滤波和放大的后的三组信号中的一组信号作为公用信号，所述公用信号分别与另外两组信号在第一差分模块(1‑5‑1)和第二差分模块(1‑5‑2)中进行差分运算，得到差分运算后的两组信号，第一差分模块(1‑5‑1)和第二差分模块(1‑5‑2)将运算后的两组信号分别输入至第一运算模块和第二运算模块(1‑5‑4)，所述第一运算模块(1‑5‑3)和第二运算模块(1‑5‑4)分别输出正弦信号和余弦信号。