离子束孔径调整装置

摘要

本实用新型公开了一种离子束孔径调整装置，包括两块调整块，所述调整块之间设有用于调整两块调整块之间缝隙大小的调节部件，所述离子束孔径调整装置还包括两可拆卸块，所述两块调整块的相对侧分别设有一凹口，所述凹口分别与所述可拆卸块的大小和形状相对应。在调整块容易被离子束侵蚀的部位设置可拆卸块，在维护时，只需更换新的可拆卸块，不需要更换整个调整块，因此可以节约大笔费用，有效降低了维护成本。

主权项

一种离子束孔径调整装置，包括两块调整块，所述调整块之间设有用于调整两块调整块之间缝隙大小的调节部件，其特征在于，还包括两可拆卸块，所述两块调整块的相对侧分别设有一凹口，所述凹口分别与所述可拆卸块的大小和形状相对应。