用于沉积制程的遮罩张紧机的遮罩框架组

摘要

本发明提出了一种用于沉积制程的遮罩张紧机的遮罩框架组，包含：框体，框体周边具有凸出部；以及遮罩，组装于框体之上，且框体的凸出部顶起遮罩。本发明所提出的遮罩框架组，由于框体的凸出部将遮罩顶起，并通过滚轮平压遮罩的表面，则易使遮罩平整化，从而使遮罩不产生皱起，进而避免因遮罩产生皱起所导致的阴影效应。

主权项

一种用于沉积制程的遮罩张紧机的遮罩框架组，其特征在于，包含：框体，所述框体周边具有凸出部；以及遮罩，组装于所述框体之上，且所述框体的所述凸出部顶起所述遮罩。