探针板布线结构

摘要

本发明提供了一种用于晶圆级测试的探针板。该探针板包括：间距转换器，其中嵌入有第一供电/接地线和第一信号线，其中，第一供电/接地线和第一信号线配置为在第一表面上具有第一布线间距，在第二表面上具有第二布线间距，第二布线间距基本小于第一布线间距；印刷电路板，配置为接合到间距转换器的第一表面，其中，印刷电路板包括嵌入在印刷电路板中并且连接到第一供电/接地线和第一信号线的第二供电/接地线和第二信号线；以及导电线，配置为使得印刷电路板的表面远离间距转换器的第一表面，其中，每条导电线都包括第一端和第二端，第一端连接到一条第二信号线，第二端连接到印刷电路板的不同位置。

主权项

一种探针板，包括：间距转换器，其中嵌入有第一供电/接地线和第一信号线，其中，所述第一供电/接地线和所述第一信号线配置为在第一表面上具有第一布线间距，在第二表面上具有第二布线间距，所述第二布线间距基本小于所述第一布线间距；印刷电路板，配置为接合到所述间距转换器的所述第一表面，其中，所述印刷电路板包括第二供电/接地线和第二信号线，嵌入在所述印刷电路板中，并且连接到所述第一供电/接地线和所述第一信号线；以及导电线，配置为使得所述印刷电路板的表面远离所述间距转换器的所述第一表面，其中，每条所述导电线都包括第一端和第二端，所述第一端连接到所述第二信号线中的一条，所述第二端连接到所述印刷电路板的不同位置。