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发明名称
PROCESSING APPARATUS AND TEMPERATURE CONTROL METHOD
摘要
申请公布号
KR20120085915(A)
申请公布日期
2012.08.01
申请号
KR20127015727
申请日期
2009.01.07
申请人
TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人
OGINO TAKASHI;KOMATSU TOMOHITO
分类号
H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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