基于可编程MEMS微镜和单点探测器的傅里叶变换红外光谱仪

摘要

本发明涉及一种基于可编程MEMS微镜和单点探测器的傅里叶变换红外光谱仪，其采用宽带光作为光源，光源发出的光经过准直透镜准直成平行光照射到可编程MEMS微镜，可编程MEMS微镜通过偏转不同角度选择合适的反射光进入分束镜，经过分束镜的一路光到达平面反射镜，经过分束镜的另外一路光到达阶梯/斜面反射镜，从平面反射镜和阶梯/斜面反射镜反射回来的光依次经过分束镜，由汇聚透镜汇聚到单点探测器上，实现对干涉光强度的探测。通过驱动上述可编程MEMS微镜，使经过分束镜的透射光到达阶梯/斜面反射镜的不同位置，实现不同光程差干涉。单点探测器可依次获得不同光程差的干涉光强，利用傅立叶变换方法解调还原出光谱信息，从而实现对样品池待测物质的检测。

主权项

一种基于可编程微镜和单点探测器的傅里叶变换红外光谱仪，其特征在于：包括光源，在光路上依次设置的准直透镜、可编程MEMS微镜、分束镜、平面反射镜、阶梯/斜面反射镜、汇聚透镜和单点光电探测器；其中平面反射镜设置在分束镜反射光方向上，阶梯/斜面反射镜设置分束镜透射光方向上，它们的位置均固定；所述光谱仪采用宽带光作为光源，光源发出的光经过准直透镜准直成平行光照射到可编程MEMS微镜，可编程MEMS微镜通过偏转不同角度选择合适的反射光进入分束镜，经过分束镜的一路光到达平面反射镜，经过分束镜的另外一路光达到阶梯/斜面反射镜，从平面反射镜和阶梯/斜面反射镜反射回来的光依次经过分束镜，由汇聚透镜汇聚到单点光电探测器上，实现对干涉光强度的探测；通过驱动上述可编程MEMS微镜，使经过分束镜的透射光到达阶梯/斜面反射镜的不同位置，实现不同光程差干涉，单点探测器可依次获得不同光程差的干涉光强，利用傅立叶变换方法解调还原出光谱信息，从而实现对样品池待测物质的检测。