面光源有机电致发光器件的图案化制作方法

摘要

本发明涉及一种面光源有机电致发光器件的图案化制作方法。本方法采用氮化物、氧化物或者氟化物等作为绝缘隔离柱，将预置的图案转印到具有绝缘层的基板上。该方法既起到了一定的预封装效果，又有效改善了以光刻胶作为绝缘柱带来的针孔以及硬度不够等问题。为了进一步增加器件的封装效果，在ITO基板上沉积有机功能和金属阴极之后，要采用等离子增强型化学气相沉积法一定厚度的绝缘材料作为预封装层，从而将有机电致发光器件都置于有隔绝作用的绝缘层中。

主权项

一种面光源有机电致发光器件的图案化制作方法，其特征在于：以氟化物绝缘材料作为绝缘隔离柱，将预置的图案转印到具有绝缘层的基板上；操作步骤如下：1)甩胶；前烘；2)基板上覆盖掩膜板，曝光；3)显影，通过对未聚合光刻胶的化学分解来使图案显影，去除图案以外残留在基板上的光刻胶；烘干；4)用真空蒸镀法，垂直预淀积绝缘层，采用氟化物绝缘材料作为蒸发源；淀积绝缘层的厚度要小于基板上光刻胶厚度；5)丙酮清洗光刻胶，去除光刻胶和光刻胶表面上淀积的绝缘层，高质量的完成图形的转印工作；6)在由绝缘层形成的凹槽中，淀积有机功能层，LiF和金属电极，完成器件的制作；器件将从玻璃面出光；7)在整个器件表面淀积一层绝缘层，起到有效的隔绝水汽氧气作用；8)进一步进行封装。