| 发明名称 |
CHEMICAL MECHANICAL PLANARIZATION COMPOSITION, SYSTEM, AND METHOD OF USE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP2109648(B1) |
申请公布日期 |
2012.08.01 |
| 申请号 |
EP20070869084 |
申请日期 |
2007.12.10 |
| 申请人 |
3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY |
发明人 |
GAGLIARDI, JOHN J.;SAVU, PATRICIA M. |
| 分类号 |
C09K3/14;B24B7/22;C09G1/04;C09K13/08;H01L21/3105;H01L21/321 |
主分类号 |
C09K3/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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