小型液态四氯化硅定量供料系统及其控制方法

摘要

本发明提供一种小型液态四氯化硅定量供料系统，包括通过管道与阀门依次连接的氮气钢瓶、气体流量计、四氯化硅储罐、四氯化硅缓冲罐、以及蠕动泵。还提供一种相应的控制方法，包括如下步骤：步骤一：气路系统的吹扫；步骤二：缓冲罐进料；步骤三：四氯化硅系统的进料。本发明完全实现了四氯化硅安全、定量、稳定的供给。有利于涉及四氯化硅反应与生产应用的定量控制，造价低廉。同时气路的设计使氮气吹扫可以有效地防止四氯化硅残夜对于整个系统的腐蚀，从而提高了该系统的使用寿命。

主权项

一种小型液态四氯化硅定量供料系统，其特征在于，包括通过管道与阀门依次连接的氮气钢瓶、气体流量计、四氯化硅储罐、四氯化硅缓冲罐、以及蠕动泵。