一种实现太阳能电池湿法边缘绝缘的方法

摘要

本发明公开了一种实现太阳能电池湿法边缘绝缘的方法，包括以下步骤：第一步，在氢氟酸槽内加入氢氟酸液使滚轮部分浸入氢氟酸液中，滚轮在转动时其细小凹槽内带有适量的氢氟酸液；将硅片置于滚轮上，通过滚轮转动，利用氢氟酸去除硅片背面及边缘的磷硅玻璃，保留硅片正表面的磷硅玻璃；第二步，去除硅片背面及边缘的磷硅玻璃后，采用上风刀吹干渗到正表面上来的少许氢氟酸液；第三步，进入刻蚀槽，采用氢氟酸与硝酸的混合溶液腐蚀硅片背面及边缘PN结。本发明操作简单，效果好。

主权项

一种实现太阳能电池湿法边缘绝缘的方法，其特征在于：包括以下步骤：第一步，在氢氟酸槽内加入氢氟酸液使滚轮部分浸入氢氟酸液中，滚轮在转动时其细小凹槽内带有适量的氢氟酸液；将硅片置于滚轮上，通过滚轮转动，利用氢氟酸去除硅片背面及边缘的磷硅玻璃，保留硅片正表面的磷硅玻璃；第二步，去除硅片背面及边缘的磷硅玻璃后，采用上风刀吹干渗到正表面上来的少许氢氟酸液；第三步，进入刻蚀槽，采用氢氟酸与硝酸的混合溶液腐蚀硅片背面及边缘PN结。