超纯三氯氢硅分离的热泵精馏间壁塔装置及操作方法

摘要

本发明涉及超纯三氯氢硅分离的热泵精馏间壁塔装置以及操作方法。通常为了得到高纯度的三氯氢硅，需要经过多塔的分离才能将原料中的轻重杂质除去，并且耗费大量的能量。而采用热泵精馏间壁塔装置，在一个间壁塔内就可以实现多种轻重杂质的完全脱除，得到超纯的三氯氢硅，并且通过热泵达到降低能耗的目标。间壁塔内的隔板将塔分为进料段、塔顶段、塔底段以及侧线产品段，在合适的控制参数下，在侧线段的合适位置能得到超高纯度的三氯氢硅产品。本发明的优点在于集合了热泵精馏以及间壁塔的特点，在一塔内完成不同杂质的脱除，在得到超纯三氯氢硅产品的同时大幅度降低能耗，减少设备投资。

主权项

超纯三氯氢硅分离的热泵精馏间壁塔装置，包括间壁塔(1)、冷凝再沸器(15)；其特征是在塔(1)中，隔板将塔分为预分离塔和主塔两部分，预分离塔由进料段精馏段(4)和提馏段(5)组成，主塔部分由侧线产品段精馏段(6)和提馏段(7)组成；预分离塔的理论板数在160～320块，进料位置在60～110块理论板，主塔的理论板数在150～230块，侧线采出的位置在60～80块理论板。