| 发明名称 | 一种树状咪唑啉季铵盐缓蚀剂及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种树状咪唑啉季铵盐缓蚀剂及其制备方法，（1）将乙二胺和丙烯酸甲酯在25℃，溶剂为甲醇中搅拌反应24h，然后减压蒸馏，得到0.5代PAMAM；（2）将0.5G代PAMAM和多胺在25℃，溶剂为甲醇中搅拌反应24h，然后减压蒸馏，得到1.0代PAMAM；（3）将脂肪酸和1.0代PAMAM以及携水剂混合，控制温度为140～160℃，反应2h后将温度升高到190℃环化反应3h，得到树状咪唑啉中间体；（4）在90℃搅拌的条件下，将咪唑啉中间体和季铵化试剂以摩尔比为1∶1投料，反应3h即可。本发明合成的缓蚀剂含有多个咪唑啉环，其缓蚀率最高达95.96%，远大于传统缓蚀剂的缓蚀率80%。 | ||
| 申请公布号 | CN101921233B | 申请公布日期 | 2012.08.01 |
| 申请号 | CN201010249241.1 | 申请日期 | 2010.08.10 |
| 申请人 | 陕西科技大学 | 发明人 | 张光华;王腾飞;费菲;孙卫玲;董惟昕 |
| 分类号 | C07D233/16(2006.01)I;C07D233/06(2006.01)I;C23F11/14(2006.01)I;C23F11/04(2006.01)I | 主分类号 | C07D233/16(2006.01)I |
| 代理机构 | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人 | 汪人和 |
| 主权项 | 1.一种树状咪唑啉季铵盐缓蚀剂，其特征在于：其化学结构式如下：<img file="FDA00001619310000011.GIF" wi="2051" he="889" />其中，R1为C<sub>4</sub>H<sub>9</sub>、C<sub>7</sub>H<sub>15</sub>、C<sub>9</sub>H<sub>19</sub>、C<sub>11</sub>H<sub>23</sub>、C<sub>15</sub>H<sub>31</sub>、C<sub>17</sub>H<sub>33</sub>或C<sub>18</sub>H<sub>37</sub>；R2为CH<sub>3</sub>-或<img file="FDA00001619310000012.GIF" wi="363" he="199" />M为Cl<sup>-</sup>或SO<sub>4</sub><sup>2-</sup>;n为6或3。 | ||
| 地址 | 710021 陕西省西安市未央区大学园1号 | ||