| 发明名称 | 内酯类光致酸发生剂和树脂以及包含其的光致抗蚀剂 | ||
| 摘要 | 内酯类光致酸发生剂和树脂以及包含其的光致抗蚀剂。提供新型包含内酯的光致酸发生剂化合物(“PAGs”)和包含该PAG化合物光致抗蚀剂组合物。这些光致抗蚀剂组合物可应用于电子设备的生产。提供一种下式表示光致酸发生剂化合物，其中每个R相同或不同，为氢和非氢取代基；Y是连接基团；每个R<sup>f</sup>独立地选自氢、氟、和氟代(C<sub>1</sub>-C<sub>10</sub>)烷基；M是阳离子；n是0到6的整数；以及m是1到10的整数。<img file="dsa00000661662000011.GIF" wi="696" he="304" /> | ||
| 申请公布号 | CN102621806A | 申请公布日期 | 2012.08.01 |
| 申请号 | CN201110462560.5 | 申请日期 | 2011.11.15 |
| 申请人 | 罗门哈斯电子材料有限公司 | 发明人 | E·阿恰达;李明琦;C-B·徐;刘骢 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01)I;C07D313/10(2006.01)I;C07C381/12(2006.01)I;C07D333/46(2006.01)I;C07D335/02(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/004(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 陈哲锋 |
| 主权项 | 1.一种下式表示光致酸发生剂化合物<img file="FSA00000661662100011.GIF" wi="921" he="322" />其中每个R相同或不同，为氢和非氢取代基；Y是连接基团；每个R<sup>f</sup>独立地选自氢、氟、和氟代(C<sub>1</sub>-C<sub>10</sub>)烷基；M是阳离子；n是0到6的整数；以及m是1到10的整数。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||