使用经倾斜的雷射扫描来加工工作件的方法和设备

摘要

本发明公开一种雷射加工方法及设备，其可借由使用扫描仪或多边镜可移动地扫描雷射束且在倾斜角方向上将这些经扫描的雷射束辐射至工作件而有效地刻划或切割该工作件。

主权项

一种雷射加工方法，其特征在于，该方法包含以下步骤：(A)扫描雷射束；及(B)将该经扫描的雷射束辐射至工作件，同时移动该工作件，其中在该步骤(B)中，该雷射束在自垂直于该工作件表面的方向具有预定倾斜角的倾斜角方向上辐射至该工作件，以使得在该工作件的深度方向上扫描的该雷射束借由穿透该工作件而修改该工作件的该深度方向的相应面。