| 发明名称 | 蚀刻机台水汽分离器的改良结构 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种蚀刻机台水汽分离器的改良结构，所述水汽分离器包括腔体、可拆卸设置于所述腔体前端的前盖，所述腔体内形成有容置室，在该容置室内设置有拉西环。本实用新型即能够方便的清理置于腔体内的拉西环，又不会破坏腔体，易于水汽分离器的保养，提高工作效率。 | ||
| 申请公布号 | CN202355960U | 申请公布日期 | 2012.08.01 |
| 申请号 | CN201120444636.7 | 申请日期 | 2011.11.11 |
| 申请人 | 竞陆电子（昆山）有限公司 | 发明人 | 李泽清 |
| 分类号 | B01D46/30(2006.01)I | 主分类号 | B01D46/30(2006.01)I |
| 代理机构 | 昆山四方专利事务所 32212 | 代理人 | 盛建德 |
| 主权项 | 一种蚀刻机台水汽分离器的改良结构，其特征在于：所述水汽分离器包括腔体(1)、可拆卸设置于所述腔体前端的前盖(2)，所述腔体内形成有容置室，在该容置室内设置有拉西环。 | ||
| 地址 | 215300 江苏省苏州市昆山市经济技术开发区金沙江北路1818号 | ||