高压开关器件及其制作方法

摘要

本申请公开了高压开关器件及其制作方法。该高压开关器件，包括：衬底、外延层、源区、漏区、漂移区、栅氧、场氧、栅极部分和蛇形多晶硅部分。本申请公开的高压器件无需额外焊盘，简单实现漏极电压检测，并且其对原有制作工艺无需大的改进，使得制作的高压开关器件可靠性强。

主权项

一种高压开关器件，包括：衬底，具有第一型掺杂；形成在衬底上的外延层；形成在外延层内的漏区和源区，其中所述源区具有第一型掺杂，所述漏区具有第二型掺杂；位于所述源区和所述漏区之间的漂移区；覆盖部分源区的栅氧；覆盖栅氧覆盖之外的其他外延层部分的场氧；形成在栅氧上的栅极部分；以及形成在场氧上的蛇形多晶硅部分，其中所述蛇形多晶硅部分具有第一端和第二端，其第一端与所述漏区接触，其第二端靠近所述栅极部分但与其分开，所述蛇形多晶硅部分在垂直方向上位于所述漂移区上。