一种氮化硅反应槽

摘要

本实用新型公开了一种氮化硅反应槽，包括半圆柱状的槽体，在所述槽体的顶面设有上端开放的半圆柱状的凹槽；所述槽体的材料为石墨。本实用新型一种氮化硅反应槽在反应釜可以放置牢靠，而且具有耐高温，不容易变形，使用寿命长的特点。

主权项

一种氮化硅反应槽，其特征在于：包括半圆柱状的槽体(1)，在所述槽体(1)的顶面设有上端开放的半圆柱状的凹槽(2)。