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发明名称 MATERIALS FOR PARTICLE REMOVAL BY SINGLE-PHASE AND TWO-PHASE MEDIA
摘要
申请公布号 EP2220671(A4) 申请公布日期 2012.08.01
申请号 EP20080862283 申请日期 2008.12.12
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 MUI, DAVID S. L.;SRINIVASAN, SATISH;PENG, GRANT;ZHU, JI;KON, SHIH-CHUNG;PODLESNIK, DRAGAN;MENDIRATTA, ARJUN
分类号 H01L21/302;C11D3/37;C11D7/26;C11D7/50;C11D11/00;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/67 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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