发明名称 Method and device for breaking semiconductor discs or similar substrates
摘要
申请公布号 PL2143537(T3) 申请公布日期 2012.07.31
申请号 PL09008877T 申请日期 2009.07.07
申请人 发明人 LINDNER JOERG
分类号 B28D5/00;H01L21/00 主分类号 B28D5/00
代理机构 代理人
主权项
地址