| 发明名称 |
COMPOSITE KINEMATIC COUPLING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
MY146265(A) |
申请公布日期 |
2012.07.31 |
| 申请号 |
MY2002PI04257 |
申请日期 |
2002.11.14 |
| 申请人 |
ENTEGRIS, INC. |
发明人 |
SANJIV M. BHATT;SHAWN D. EGGUM |
| 分类号 |
B29C45/14;B65D85/48;B29C45/16;B29K69/00;B29K71/00;G03F7/20;H01L21/673;H01L21/677;H01L21/68 |
主分类号 |
B29C45/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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