发明名称 FILM STICKING METHOD AND FILM STICKING DEVICE
摘要
申请公布号 MY146228(A) 申请公布日期 2012.07.31
申请号 MY2005PI03342 申请日期 2005.07.20
申请人 TOKYO SEIMITSU CO., LTD. 发明人 MINORU AMETANI
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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