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发明名称 MANUFACTURING APPARATUS FOR DEPOSITING A MATERIAL AND AN ELECTRODE FOR USE THEREIN
摘要
申请公布号 KR20120085277(A) 申请公布日期 2012.07.31
申请号 KR20127011555 申请日期 2010.10.08
申请人 HEMLOCK SEMICONDUCTOR CORPORATION 发明人 HILLABRAND DAVID;MCCOY KEITH
分类号 C23C16/44;H01L21/205 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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