发明名称 PROFILING COMPLEX SURFACE STRUCTURES USING SCANNING INTERFEROMETRY
摘要
申请公布号 KR101169293(B1) 申请公布日期 2012.07.30
申请号 KR20057016623 申请日期 2004.03.08
申请人 发明人
分类号 G01B11/24;G01B9/02;G01B11/06 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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