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发明名称 POSITIVE RESIST COMPOSITION AND PATTERN FORMATION METHOD USING THE POSITIVE RESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号 KR101169313(B1) 申请公布日期 2012.07.30
申请号 KR20070026007 申请日期 2007.03.16
申请人 发明人
分类号 G03F7/039;G03F7/004 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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