| 摘要 |
Ce capteur de température (2) comprend un résonateur HBAR (10), une unité (20) de détermination de la différence entre deux fréquences de résonance distinctes du résonateur à une température T, mesurées entre deux électrodes d'une même paire du résonateur HBAR, et une unité (30) de détermination de la température du résonateur à partir de la différence de fréquences et d'une fonction biunivoque de correspondance entre la température et la différence de fréquences. Le résonateur (10) est formé par un empilement d'une première électrode (18), un transducteur (12), une deuxième électrode (19), un substrat acoustique (14) et les coupes du transducteur (12) et du substrat (14) sont choisies pour obtenir des couplages électro-acoustiques élevés et un différentiel de sensibilités en température de fréquence entre deux modes de vibrations distincts coexistant au sein du résonateur supérieur ou égal à 1 ppm.K-1. |
