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发明名称 METHOD FOR FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR101168468(B1) 申请公布日期 2012.07.26
申请号 KR20080068126 申请日期 2008.07.14
申请人 发明人
分类号 H01L21/336;H01L21/20 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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