Lichtsensor mit IR-Interferenz-Sperrfilter und Farbfilter, die auf einem Chip integriert sind

摘要

Es werden Techniken zum Herstellen eines Lichtsensors beschrieben, der ein strukturiertes IR-Interferenz-Sperrfilter aufweist, das mit einem strukturierten Farbfilter integriert ist. Bei einer oder mehreren Implementierungen weist der Lichtsensor ein Substrat mit einer Oberfläche auf. Ein IR-Interferenz-Sperrfilter, das so konfiguriert ist, dass es Infrarotlicht blockiert, ist über der Oberfläche des Substrats ausgebildet. Der Lichtsensor weist auch ein oder mehrere Farbfilter auf, die über oder unter dem IR-Interferenz-Sperrfilter angeordnet sind. Die Farbfilter sind so konfiguriert, dass sie sichtbares Licht filtern, um Licht in einem begrenzten Wellenlängenspektrum an den einen oder die mehreren Fotodetektoren durchzulassen. Bei einer Implementierung ist eine Pufferschicht über der Oberfläche ausgebildet und so konfiguriert, dass sie die Vielzahl von Farbfiltern einkapselt, um die Ausbildung des IR-Interferenz-Sperrfilters zu erleichtern. Bei einer anderen Implementierung ist die Pusgebildet, um gewissermaßen als Opferpufferschicht zu fungieren, um die Ausbildung der Farbfilter zu erleichtern.