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发明名称 Procédé de préparation de plaquettes en matériau semi-conducteur
摘要
申请公布号 FR1242612(A) 申请公布日期 1960.09.30
申请号 FR19590812411 申请日期 1959.12.08
申请人 SIEMENS EDISON SWAN LIMITED 发明人
分类号 C23F1/40;H01L21/306 主分类号 C23F1/40
代理机构 代理人
主权项
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