Kammer für eine schnelle thermische Bearbeitung mit Mikropositioniersystem

摘要

Beschrieben werden Verfahren und Vorrichtungen für das schnelle thermische Bearbeiten eines planaren Substrats, welche das axiale Ausrichten des Substrats mit einem Substratträger oder mit einer empirisch bestimmten Position umfassen. Die Verfahren und Vorrichtungen umfassen ein Sensorsystem, welches die relativen Ausrichtungen des Substrats und des Substratträgers bestimmt.