发明名称 Verfahren zur Bereitstellung jeweils einer ebenen Arbeitsschicht auf jeden der zwei Arbeitsscheiben einer Doppelseiten-Bearbeitungsvorrichtung
摘要
申请公布号 DE102011003006(A1) 申请公布日期 2012.07.26
申请号 DE20111003006 申请日期 2011.01.21
申请人 SILTRONIC AG 发明人 PIETSCH, GEORG, DR.
分类号 H01L21/304;B24B37/04 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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