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发明名称
Verfahren zur Bereitstellung jeweils einer ebenen Arbeitsschicht auf jeden der zwei Arbeitsscheiben einer Doppelseiten-Bearbeitungsvorrichtung
摘要
申请公布号
DE102011003006(A1)
申请公布日期
2012.07.26
申请号
DE20111003006
申请日期
2011.01.21
申请人
SILTRONIC AG
发明人
PIETSCH, GEORG, DR.
分类号
H01L21/304;B24B37/04
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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