Gassystem zur Verdichtung eines Prozessgases

摘要

Die Erfindung betrifft ein Gassystem (10) mit einer ersten Kompressorstufe (20) zur Verdichtung eines Prozessgases (18), wobei die erste Kompressorstufe (20) eine Saugseite (20a) und eine Druckseite umfasst, und ein Sperrgas (17) außerhalb der ersten Kompressorstufe (20) zur Verhinderung eines Austreten von Prozessgas (18) aus Leckagen der ersten Prozessorstufe (20), aufweisend zumindest eine erste Leitung (12) zur Rückführung von aus Leckagen des Gassystems (10), die sich hinter der ersten Kompressorstufe (20) befinden, austretendem Prozessgas (18) zu der Saugseite (20a) der ersten Kompressorstufe (20). Ferner weist das Gassystem (10) zumindest eine zweite Leitung (13) zur Abführung eines aus dem Gassystem (10) austretenden Gasgemisches bestehend zumindest aus Prozessgas (18) und Sperrgas (17) wobei die zumindest eine zweite Leitung (13) zur Rückführung des austretenden Gasgemisches zur Saugseite (20a) der ersten Kompressorstufe (20) und/oder zu einer Stelle im Gassystem (10) vor der ersten Kompressorstufe (20) ausgestaltet ist.