发明名称 Method for producing a semiconductor device
摘要
申请公布号 EP2006894(B1) 申请公布日期 2012.07.25
申请号 EP20060714608 申请日期 2006.02.24
申请人 MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 MINATO, TADAHARU;YAMAMOTO, HIDEKAZU
分类号 H01L21/322;H01L21/329;H01L21/331;H01L21/336;H01L29/739;H01L29/744;H01L29/78;H01L29/861 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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