发明名称 |
金属模具的制造方法和通过该方法被形成的金属模具 |
摘要 |
提供一种可容易制造具有纳米规格的微细构造的金属模具的制造方法和通过该方法所形成的金属模具。其特征在于,包括在具有微细构造的所述无机薄膜(1)上形成由硅烷耦联剂所构成的自组装膜(2)的步骤,该硅烷耦联剂具有含有氨基团、巯基团、硫醇团、二硫化物团、氰基团、卤素团、磺酸团之中的一个以上的官能团;在所述自组装膜(2)上形成通电层(3)的通电层形成的步骤;以及在所述通电层(3)上通过电镀形成金属膜(4)的步骤。 |
申请公布号 |
CN102612424A |
申请公布日期 |
2012.07.25 |
申请号 |
CN201180004533.1 |
申请日期 |
2011.03.09 |
申请人 |
学校法人早稻田大学 |
发明人 |
本间孝之;斋藤美纪子 |
分类号 |
B29C33/38(2006.01)I;B29C59/02(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I |
主分类号 |
B29C33/38(2006.01)I |
代理机构 |
北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 |
代理人 |
武也平;赵郁军 |
主权项 |
一种金属模具的制造方法,其特征在于,在具有微细构造的无机薄膜上形成金属膜,并将所述金属膜从所述无机薄膜分离进而形成金属模具,包括:在所述无机薄膜上形成含有硅烷耦联剂的自组装膜的步骤,该硅烷耦联剂具有含有氨基团、巯基团、硫醇团、二硫化物团、氰基团、卤素团、磺酸团之中的一个以上的官能团;在所述自组装膜上形成通电层的通电层形成的步骤;和在所述通电层上形成所述金属膜的步骤。 |
地址 |
日本国东京都新宿区户塚町1丁目104番地 |