| 发明名称 | 三维微纳米接触扫描探头中的弹性测头 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种三维微纳米接触扫描探头中的弹性测头，其特征是在固定圆环的设置悬浮片，悬浮片中各悬臂是在臂端连接有悬臂簧片，各悬臂簧片的另一端与固定圆环相连接，形成悬浮片在固定圆环中的悬浮结构；在悬浮片朝向筒体内的一侧平面上，处在悬浮片的位置处设置一平面反光镜，处在悬浮片的至少一个悬臂的臂端部位设置有悬臂平面反光镜；在悬浮片朝向筒体外的一侧平面上，扫描探针固定安装在悬浮片的中心，处在扫描探头最前端的测球固定安装在扫描探针的端部。本实用新型能够获得大量程、高精度、高灵敏度和小测力的探测效果。 | ||
| 申请公布号 | CN202350739U | 申请公布日期 | 2012.07.25 |
| 申请号 | CN201120421880.1 | 申请日期 | 2011.10.28 |
| 申请人 | 合肥工业大学 | 发明人 | 李瑞君;范光照;苗晋伟;陶胜;张友良 |
| 分类号 | G01B11/00(2006.01)I | 主分类号 | G01B11/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人 | 何梅生 |
| 主权项 | 三维微纳米接触扫描探头中的弹性测头，其特征是设置一固定圆环(8)，在所述固定圆环(8)的中央设置十字悬浮片(9)，所述十字悬浮片(9)中各悬臂是在臂端连接有悬臂簧片(10)，所述各悬臂簧片(10)的另一端与固定圆环(8)相连接，形成十字悬浮片(9)在固定圆环(8)中的悬浮结构；在所述十字悬浮片(9)朝向筒体内的一侧平面上，处在十字悬浮片(9)的中央位置处设置一中央平面反光镜(13a)，处在所述十字悬浮片(9)的至少一个悬臂的臂端部位设置有悬臂平面反光镜(13b)；在所述十字悬浮片(9)朝向筒体外的一侧平面上，扫描探针(11)固定安装在所述十字悬浮片(9)的中心，处在扫描探头最前端的测球(12)固定安装在扫描探针(11)的端部。 | ||
| 地址 | 230009 安徽省合肥市屯溪路193号 | ||