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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
摘要
申请公布号 EP2064732(A4) 申请公布日期 2012.07.25
申请号 EP20070830230 申请日期 2007.10.15
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO, LTD. 发明人 NOMURA, RYOJI;NAGATA, TAKAAKI;KUSUMOTO, NAOTO
分类号 H01L21/28;G09F9/00;H01L21/02;H01L27/12;H01L27/20;H01L27/28;H01L29/786;H01L41/08;H01L41/193;H01L45/00;H01L49/00;H01L51/05;H01L51/10;H01L51/50;H05B33/02;H05B33/10;H05B33/26 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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