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发明名称 POST-RELEASE CAPACITANCE ENHANCEMENT IN MICROMACHINED DEVICES AND A METHOD OF PERFORMING THE SAME
摘要
申请公布号 EP1803160(A4) 申请公布日期 2012.07.25
申请号 EP20050798017 申请日期 2005.09.07
申请人 THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA-SAN FRANCISCO 发明人 ACAR, CENK;SHKEL, ANDREI M.
分类号 B81B3/00;G01C19/00;G01L1/14;G01P15/08;G01P15/125;H01L27/20;H01L29/84;H01L29/94;H02N1/00 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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