硬脆材料化学机械抛光用无磨料抛光液

摘要

一种硬脆材料化学机械抛光用无磨料抛光液，其特征在于它是由腐蚀剂0.5%-40%，腐蚀抑制剂0.5%-20%，表面活性剂0.5%-15%，pH调节剂0.1%-10%以及去离子水组成。无磨料抛光液不含任何磨料，对被抛光材料表面损伤小，可以获得无损伤超光滑表面，而且不会产生沉淀，能够长时间的保存和使用。其次，无磨料抛光液稳定性好，不易挥发，流动性好，易清洗，对设备腐蚀小。本发明是专门针对硬脆材料化学机械抛光而制备的一种无磨料抛光液，不但兼具无磨料抛光液的优点，还针对硬脆材料有较大的去除率，能得到更高的表面质量，并且成本低，方法简便易行。

主权项

一种硬脆材料化学机械抛光用无磨料抛光液，其特征在于它是由腐蚀剂，腐蚀抑制剂，表面活性剂，pH调节剂以及去离子水混合组成，其质量百分比分别为：腐蚀剂             0.5%‑40%；腐蚀抑制剂         0.5%‑20%；表面活性剂         0.5%‑15%；pH调节剂          0.1%‑10%；去离子水           30%‑95%；所述的腐蚀剂为氢氟酸、磷酸、磷酸盐和焦磷酸盐的混合液或草酸、浓硫酸、硝酸、盐酸和醋酸中的一种或多种的混合液；所述的腐蚀抑制剂为氯化铵、氟化铵和溴化铵中的一种或几种的组合；所述的表面活性剂为聚氧乙烯烷基酚、脂肪酸聚氧乙烯酯、聚氧乙烯酰胺和聚氧乙烯胺中的一种或几种的组合；所述的pH调节剂为氢氧化钾、氢氧化钠、氨水、羟基胺、四甲基氢氧化铵、乙醇钠和乙酸钠中的一种或几种的组合。