一种极紫外投影光刻物镜

摘要

本发明提供一种极紫外投影光刻物镜，其为六反射镜结构，将第一反射镜M1、圆形光阑、第二反射镜M2、第三反射镜M3和第四反射镜M4设为第一镜组，将第五反射镜M5和第六反射镜M6设为第二镜组；第一镜组用于将物面成中间像于第五反射镜M5和第六反射镜M6之间；第二镜组用于将所述中间像成像于像面上，最终实现系统1/4的物像缩小倍率；其中，所述第六反射镜M6对第一镜组的出射光不产生遮拦，所述第五反射镜M5对第六反射镜M6的反射光不产生遮拦。本发明通过对第五镜片和第六镜片的改进，使得第五镜片和第六镜片可以无遮拦的将中间像成像于本极紫外投影光刻物镜的像面上。

主权项

一种极紫外投影光刻物镜，其为六反射镜结构，包括第一反射镜M1、第二反射镜M2、第三反射镜M3、第四反射镜M4、第五反射镜M5、第六反射镜M6以及圆形光阑，沿光路方向上述各部件之间的位置关系为：第一反射镜M1、圆形光阑、第二反射镜M2、第三反射镜M3、第四反射镜M4、第五反射镜M5，第六反射镜M6；将第一反射镜M1、圆形光阑、第二反射镜M2、第三反射镜M3和第四反射镜M4设为第一镜组，将第五反射镜M5和第六反射镜M6设为第二镜组；其特征在于：第一镜组用于将物面成中间像于第五反射镜M5和第六反射镜M6之间；第二镜组用于将所述中间像成像于像面上；其中所述第六反射镜M6对第一镜组的出射光不产生遮拦，所述第五反射镜M5对第六反射镜M6的反射光不产生遮拦。