发明名称 Method of manufacturing SEMICONDUCTOR TRANSISTORS WITH CONTACT HOLES CLOSE TO GATES
摘要
申请公布号 EP1952433(B1) 申请公布日期 2012.07.25
申请号 EP20060829916 申请日期 2006.10.19
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 HORAK, DAVID, VACLAV;HAKEY, MARK, CHARLES;HOLMES, STEVEN, JOHN;FURUKAWA, TOSHIHARU;KOBURGER, CHARLES, WILLIAM, III;TONTI, WILLIAM, ROBERT
分类号 H01L21/28;H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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