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发明名称 POLISHING SOLUTION FOR METAL FILMS AND POLISHING METHOD USING THE SAME
摘要
申请公布号 EP2273537(A4) 申请公布日期 2012.07.25
申请号 EP20090731910 申请日期 2009.04.13
申请人 HITACHI CHEMICAL COMPANY, LTD. 发明人 HAGA, KOUJI;FUKASAWA, MASATO;NAKAGAWA, HIROSHI;MISHIMA, KOUJI
分类号 H01L21/321;C09G1/02 主分类号 H01L21/321
代理机构 代理人
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