基于光学显微镜和变化光照的微观形貌三维测量方法

摘要

本发明公开了一种基于光学显微镜和变换光照的微观形貌三维测量方法。该方法根据光学显微镜在固定视点不同光照方向下拍摄得到的多张微观图像重建微观结构表面的三维形貌。其过程如下：首先采用UPS方法和表面可积性约束获得具有GBR歧义的表面反射率和法线方向；然后用基于最小熵的GBR消歧法得到无歧义的表面反射率和法线方向；为了减少噪声的影响，在马尔可夫随机场模型下，利用图割法进一步优化表面法线方向；最后，根据表面法线方向，采用积分的方法重建微观结构表面的三维形貌。

主权项

一种基于光学显微镜和变换光照的微观形貌三维测量方法，其特征在于，该方法包括下述步骤：第1步在固定视点不同光照方向下拍摄多幅被测微观物体的微观图像；第2步采用UPS方法和表面可积性约束获得具有GBR歧义的表面反射率和法线方向；第3步用基于最小熵的GBR消歧法得到无歧义的表面反射率和法线方向；第4步在马尔可夫随机场模型下，利用图割法优化表面法线方向；第5步根据表面法线方向，采用积分的方法重建微观结构表面的三维形貌。