光学自由曲面干涉检测装置

摘要

本发明公开了一种光学自由曲面干涉检测装置，采用点光源阵列产生多视场倾斜波面，照明被测自由曲面，位于光轴上的点光源始终点亮作为参考光，获得的多视场干涉图按移相干涉技术复原得到子区域波面数据；用标准球面标定CCD像素与多视场干涉图之间的位置关系，测量自由曲面时，多视场干涉图位置发生偏移，由偏移量得到波面倾斜信息；根据倾斜信息与多视场子区域波面数据重构被测面面形信息。根据被测面特征产生可控点源阵列点亮方案，本发明的装置可覆盖包括较多测试对象（凸凹非球面、自由曲面）。本发明克服了现有自由曲面检测方法单一性和高成本的缺点，克服了现有检测方法中由非共光路带来的误差大的缺陷以及子孔径方法对位移精度要求高的缺陷。

主权项

一种光学自由曲面干涉检测装置，其特征在于：包括激光器[1]、扩束系统[2]、可控微透镜点源阵列[3]、分光棱镜[4]、标准球面透镜组[5]、移相器[6]、小孔光阑[8]、成像透镜[9]、电荷耦合器件CCD[10]、监视器[11]和计算机[12]；激光器[1]后面放置扩束系统[2]，扩束系统[2]后放置可控微透镜点源阵列[3]，可控微透镜点源阵列[3]后面放置分光棱镜[4]，经分光棱镜[4]后光路结构分为两路，一路是分光棱镜[4]后放置标准球面透镜组[5]，移相器[6]与标准球面透镜组[5]相连接驱动标准球面透镜组[5]作横向移动，另一路在分光棱镜[4]反射光的方向放置小孔光阑[8]，小孔光阑[8]后面放置成像透镜[9]，成像透镜[9]后放置电荷耦合器件CCD[10]，电荷耦合器件CCD[10]与监视器[11]和计算机[12]相连接。