发明名称 |
薄膜层叠器件的制造方法和显示装置的制造方法 |
摘要 |
本发明提供一种薄膜层叠器件的制造方法和显示装置的制造方法、以及薄膜层叠器件。薄膜层叠器件的制造方法为,利用粘合剂从弱粘合无机膜的上层膜和弱粘合无机膜的下层膜一侧将塑料基板贴合在支撑基板,使玻璃基板以比上层膜与下层膜之间的粘合力强的粘合力支撑塑料基板。在被玻璃基板支撑的塑料基板层叠多层薄膜。通过分离上层膜与下层膜,将层叠有多层薄膜的塑料基板从玻璃基板分离。 |
申请公布号 |
CN101903974B |
申请公布日期 |
2012.07.25 |
申请号 |
CN200880121497.5 |
申请日期 |
2008.09.25 |
申请人 |
夏普株式会社 |
发明人 |
冈部达 |
分类号 |
H01L21/02(2006.01)I;H01L23/52(2006.01)I;H01L27/12(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/02(2006.01)I |
代理机构 |
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 |
代理人 |
龙淳 |
主权项 |
一种薄膜层叠器件的制造方法,该薄膜层叠器件在塑料基板上层叠有多层薄膜,该薄膜层叠器件的制造方法的特征在于,包括:第一工序,准备依次层叠有第一无机膜和第二无机膜的塑料基板;第二工序,利用粘合剂从所述第一无机膜和第二无机膜一侧将所述塑料基板贴合在支撑基板,使该支撑基板以比该第一无机膜与第二无机膜之间的粘合力强的粘合力支撑该塑料基板;第三工序,在被所述支撑基板支撑的所述塑料基板层叠多层薄膜;和第四工序,通过分离所述第一无机膜与第二无机膜,将层叠有所述多层薄膜的塑料基板从所述支撑基板分离。 |
地址 |
日本大阪府 |