形成喷墨印刷头的方法

摘要

形成喷墨印刷头的方法，包括：将多个压电元件黏附到膜上；分布介电填充材料在所述多个压电元件和所述膜上，以包裹所述多个压电元件；固化所述介电填充材料，以形成中间层；以及采用等离子体蚀刻从所述多个压电元件的所述上表面去除所述中间层。

主权项

形成喷墨印刷头的方法，包括：将膜黏附材料附着在膜上，其中所述膜包括多个开口；将多个压电元件黏附到所述膜上；分布介电填充材料，以包裹所述多个压电元件并接触所述膜，其中所述膜黏附材料阻止所述介电填充材料流过所述膜上的所述多个开口；固化所述介电填充材料，以在所述多个压电元件之间以及所述多个压电元件的上表面上方形成中间层；以及采用等离子体蚀刻从所述多个压电元件的所述上表面去除所述中间层。