具有双检验块的MEMS传感器

摘要

本发明公开了具有双检验块的MEMS传感器。一种微机电系统(MEMS)传感器(20)，包括基底(26)和形成在基底(26)的平坦表面(28)上的悬置锚(34，36)。MEMS传感器还包括悬置在基底(26)之上的第一可动部件(38)和第二可动部件(40)。顺从性构件(42，44)相互连接第一可动部件(38)和悬置锚(34)，顺从性构件(46，48)相互连接第二可动部件(40)和悬置锚(36)。可动部件(38，40)具有相同的形状。可动部件可以是基本方形可动部件(38，40)或嵌套结构的L形可动部件(108，110)。可动部件(38、40)相对于彼此绕基底(26)上的定位点(94)在旋转对称方向上。

主权项

一种微机电系统MEMS传感器，包括：基底；第一可动部件，在所述基底的基本平坦的表面之上以间隔开的关系布置；以及第二可动部件，在所述基底的所述表面之上以间隔开的关系布置，所述第一和第二可动部件具有基本相同的形状，并且所述第二可动部件基本上被取向为相对于所述第一可动部件绕所述基底的所述平坦表面上的定位点旋转对称。