发明名称 |
硬质薄膜、具备硬质薄膜的被覆件、及该被覆件的制作方法 |
摘要 |
本发明公开一种硬质薄膜、具备硬质薄膜的被覆件、及被覆件的制作方法,该硬质薄膜包括交替排布的氮化钛层与氮化铝层,所述硬质薄膜中钛的质量百分含量在46-46.6%,铝的质量百分含量在25.6-26.2%,氮的质量百分含量在27.2-28.4%。所述被覆件包括一基材及形成在基材上的所述硬质薄膜。被覆件的制作方法包括将基材置入镀膜机中交替沉积氮化钛层与氮化铝层,然后置入热处理炉内进行氮化热处理,以获得被覆件。该具有氮化钛层与氮化铝层形成的硬质薄膜的被覆件,被覆件的硬度与耐磨性均极大的提高,且制备方法简单。 |
申请公布号 |
CN102605367A |
申请公布日期 |
2012.07.25 |
申请号 |
CN201110025730.3 |
申请日期 |
2011.01.24 |
申请人 |
鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
发明人 |
张新倍;陈文荣;蒋焕梧;陈正士;彭立全 |
分类号 |
C23C28/00(2006.01)I;C23C28/04(2006.01)I |
主分类号 |
C23C28/00(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种硬质薄膜,包括交替排布的氮化钛层与氮化铝层,其特征在于:所述硬质薄膜中钛的质量百分含量在46‑46.6%,铝的质量百分含量在25.6‑26.2%,氮的质量百分含量在27.2‑28.4%。 |
地址 |
518109 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 |