发明名称 用于基材热处理的装置和处理室
摘要 本发明涉及用于平面基材(10)的热处理的处理室(20,21,21′)。处理室(20,21,21′)包括用于在热处理过程中输送和存放基材(10)的输送装置(25,25′)和用于对流加热或对流冷却该基材(10)的气体供给机构(30,30′)。气体供给机构(30,30′)具有多个出口孔(32,32′),温度经过调节的气体通过该出口孔被送至基材(10)。而且,在处理室(20,21,21′)内设有抽排机构(33,33′),可通过该抽排机构有目的地抽排经气体供给机构(30,30′)被送入处理室(20,21,21′)的气体。处理室能以加热处理室(21)或冷却室(21′)的形式构成。
申请公布号 CN102612631A 申请公布日期 2012.07.25
申请号 CN201080035899.0 申请日期 2010.08.12
申请人 莱博德光学有限责任公司 发明人 E·诺瓦克;J·特鲁布
分类号 F27B9/30(2006.01)I;C03B27/044(2006.01)I;C03B29/08(2006.01)I 主分类号 F27B9/30(2006.01)I
代理机构 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 代理人 胡强
主权项 一种用于平面基材(10)的热处理的处理室(20,21,21′),具有用于在热处理过程中输送并存放该基材(10)的输送装置(25,25′)和用于对流加热或对流冷却该基材(10)的气体供给机构(30,30′),其中该气体供给机构(30,30′)在靠近该基材(10)的区域内具有多个用于气体的出口孔(32,32′),其特征是,该处理室(20,21,21′)具有用于有目的地抽排通过该气体供给机构(30,30′)被送入该处理室(20,21,21′)的气体的抽排机构(33,33′)。
地址 德国阿尔策瑙