脆性材料基板用刀轮的制造方法

摘要

本发明提供脆性材料基板用刀轮的制造方法，根据上述方法，可抑制在使用激光来对烧结金刚石进行微细加工时的加工部位的石墨化，并且可高效地进行精确的微细加工。在上述方法中，包括在包含棱线部分(2a)的刀轮外周部上，从刀轮侧面侧一边使激光光束相对于刀轮(2)相对移动一边进行照射，在棱线部分上在周向隔开期望的间隔来连续形成朝向刀轮半径方向开口的微细的槽部的工序，对于将烧结金刚石作为材料的工件，以所述工件和激光光束之间的相对移动速度来对所述工件的加工部位进行照射，在加工部位的最大厚度为200μm以下的范围内，将所述工件加工成微细形状。

主权项

一种脆性材料基板用刀轮的制造方法，所述脆性材料基板用刀轮将烧结金刚石作为材料而在外周面上具有成为刀刃的V字型的棱线部，所述脆性材料基板用刀轮的制造方法包括如下工序：从刀轮侧面侧使激光光束一边相对于所述刀轮相对移动一边照射到所述刀轮的加工部位上，在加工部位的最大厚度为200μm以下的范围内将所述刀轮加工成微细形状，从而在所述棱线部上沿周向隔开期望的间隔连续形成朝向刀轮半径方向开口的微细的槽部，将所述刀轮加工成微细形状时的激光光束相对于刀轮的相对移动轨迹由相同模式的图形形成，所述图形为圆、椭圆或多边形的闭合曲线、或者不形成闭合曲线的曲线、直线，所述制造方法的特征在于：通过使所述图形在刀轮的半径方向上偏移，从而调节所加工的槽部的深度，改变根据激光光束的移动轨迹而描绘出的图形的尺寸，从而调节槽部的圆周方向的长度。