发明名称 半导体发光元件用外延晶片及半导体发光元件
摘要 本发明提供一种半导体发光元件用外延晶片,以及采用该半导体发光元件用外延晶片来制作的半导体发光元件,该半导体发光元件用外延晶片能控制Zn从p型接触层向p型包覆层和活性层的扩散量。本发明提供一种半导体发光元件用外延晶片,在n型GaAs基板(1)上至少依次层叠由AlGaInP系材料形成的混晶所构成的n型包覆层(4)、活性层(6)和掺杂Mg的p型包覆层,以及p型接触层(13),所述p型接触层(13)从所述n型GaAs基板(1)侧开始依次具有掺杂Mg的接触层(13b)和掺杂Zn的接触层(13a)至少两个层,其特征在于,在所述掺杂Mg的p型包覆层(8,10)和所述p型接触层(13)之间,具备掺杂Zn的Zn掺杂层(11)。
申请公布号 CN101447540B 申请公布日期 2012.07.25
申请号 CN200810169999.7 申请日期 2008.10.16
申请人 日立电线株式会社 发明人 竹内隆;助川俊光
分类号 H01L33/00(2006.01)I;H01S5/30(2006.01)I 主分类号 H01L33/00(2006.01)I
代理机构 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人 钟晶
主权项 一种半导体发光元件用外延晶片,其结构为,在n型GaAs基板上至少依次层叠由AlGaInP系材料形成的混晶所构成的n型包覆层、活性层、掺杂Mg的p型包覆层以及p型接触层;所述p型接触层从所述n型GaAs基板侧开始依次具有掺杂Mg的接触层和掺杂Zn的接触层的至少两个层,其特征在于,在所述掺杂Mg的p型包覆层和所述p型接触层之间,具备掺杂Zn的Zn掺杂层。
地址 日本东京都
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