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发明名称 ROTATABLE DEVICE FOR HOLDING A SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP1829084(B1) 申请公布日期 2012.07.25
申请号 EP20050811027 申请日期 2005.11.03
申请人 SUESS MICROTEC LITHOGRAPHY GMBH 发明人 FISCHER, KARIN;KRAMER, JOSEPH
分类号 H01L21/00;B05B13/02;B08B3/02;H01L21/68 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
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